3.0.1 潔凈室及潔凈區(qū)內(nèi)空氣中懸浮粒子空氣潔凈度等級(jí)應(yīng)符合下列規(guī)定:
1 潔凈室及潔凈區(qū)空氣潔凈度整數(shù)等級(jí)應(yīng)按表3.0.1 確定。
表3.0.1 潔凈室及潔凈區(qū)空氣潔凈度整數(shù)等級(jí)
注:按不同的測(cè)量方法,各等級(jí)水平的濃度數(shù)據(jù)的有效數(shù)字不應(yīng)超過(guò)3位。
2 各種要求粒徑D的最大濃度限值Cn應(yīng)按下式計(jì)算:
式中:Cn——大于或等于要求粒徑的最大濃度限值(pc/m3)。Cn是四舍五入至相近的整數(shù),有效位數(shù)不超過(guò)三位數(shù);
N—空氣潔凈度等級(jí),數(shù)字不超過(guò)9,潔凈度等級(jí)整數(shù)之間的中間數(shù)可以按0.1為最小允許遞增量;
D—要求的粒徑(μm);
0.1—常數(shù),其量綱為μm。
3 當(dāng)工藝要求粒徑不止一個(gè)時(shí),相鄰兩粒徑中的大者與小者之比不得小于1.5倍。
4 空氣潔凈度等級(jí)的粒徑范圍應(yīng)為0.1μm~0.5μm,超出粒徑范圍時(shí)可采用U描述符或M描述符補(bǔ)充說(shuō)明。
3.0.2 空氣潔凈度等級(jí)所處狀態(tài)包括空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài),空氣潔凈度等級(jí)所處狀態(tài)與業(yè)主協(xié)商確定。
3.0.3 空氣潔凈度的測(cè)試方法應(yīng)按本規(guī)范附錄A的要求進(jìn)行。
3.0.4 當(dāng)潔凈室(區(qū))內(nèi)的產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求控制微生物、化學(xué)污染物時(shí),應(yīng)根據(jù)工藝特點(diǎn)對(duì)各空氣潔凈度等級(jí)規(guī)定相應(yīng)的微生物、化學(xué)污染物濃度限值。