內(nèi)蒙古實驗室系統(tǒng)工程-過濾器檢漏

一、說明

過濾網(wǎng)的泄漏測試應當是無塵室測試中，復雜、耗時間的測量項目。泄漏測試的目的，是要確認：

1. 濾網(wǎng)的材料無破損，

2. 安裝恰當。

濾網(wǎng)出廠前當然要經(jīng)過泄漏測試，但是在搬運與安裝過程難保完全無損，而且濾網(wǎng)的重要性又大于一切，因此安裝完畢都要做一次掃描，以確認濾材無任何泄漏。另外，若是安裝不恰當，微粒會從邊框漏進無塵室風口。就算是 FFU 系統(tǒng)，天花板上是負壓，若是邊框機有微粒日后仍舊會產(chǎn)生問題。因此，邊框掃描一樣重要。濾網(wǎng)泄漏測試基本上是利用濾網(wǎng)上游的顆粒，然后在濾網(wǎng)下表面與邊框用微粒探測儀器搜尋有無泄漏。泄漏測試有幾種不同的方式，適用在不同的場合。

測試方式有：

1. 氣膠光度計測試法  2. 微粒計數(shù)器測試法  3. 全效率測試法  4. 外氣測試法    后兩種現(xiàn)在使用非常少。

二、方法

氣溶膠光度計測試法

氣膠光度計測試法是最早期的測試方式，但是因為效果非常好，到今天仍舊沿用。氣膠光度計（ Aerosol Photometer ）是微粒計數(shù)器的一種，也是使用雷射科技，但是它在掃描空氣樣本的微粒之后，所給的是微粒的總體強度，不是微粒數(shù)目。 DOP 是一種油性化學物質(zhì)，現(xiàn)改用PAO,加壓或加熱霧化之后，可以產(chǎn)生次微米等級的微粒，可用來模擬無塵室的微粒，因此被當成驗證微粒。

微粒計數(shù)器測試法

半導體業(yè)方面，早期也是使用 DOP/PAO 與氣膠光度計，但是隨著制造精密度增加，油性挑戰(zhàn)微粒逐漸不容許在無塵室使用，因此出現(xiàn)使用干式灰塵當成挑戰(zhàn)微粒，在上游施放，然后用微粒計數(shù)器在下游掃描，尋找泄漏，基本概念完全相同。經(jīng)過科學家一步步研究結(jié)果，發(fā)現(xiàn) PSL 因為微粒的粒徑與濃度可以控制，因此是目前最廣為使用的標準微粒。使用時只要把 PSL 溶液霧化，導入濾網(wǎng)上游即可。

PAO/DOP過濾器檢漏

一、說明

氣膠光度計測試法是最早期的測試方式，但是因為效果非常好，到今天仍舊沿用。氣膠光度計（Aerosol Photometer）是微粒計數(shù)器的一種，也是使用雷射科技，但是它在掃描空氣樣本的微粒之后，所給的是微粒的總體強度，不是微粒數(shù)目。DOP是一種油性化學物質(zhì)，加壓或加熱霧化之后，可以產(chǎn)生次微米等級的微粒，可用來仿真無塵室的微粒，因此被當成驗證微粒。

泄漏的定義是泄漏出上游濃度萬分之一，由于氣膠光度計可以直接顯示上下游微粒濃度的比值，因此掃描濾網(wǎng)非常方便。也正因其準確、可靠，美國食品與藥品管制局（FDA）規(guī)定，在其管轄范圍內(nèi)（食品加工場所與醫(yī)療制藥場所），所有的濾網(wǎng)泄漏測試必須使用DOP與氣膠光度計。近年來由于人們懷疑DOP會導致癌癥，因此多改用PAO。PAO和DOP的特性類似，使用上無多大差異。

二、測試儀器

本測試法使用儀器為氣膠光度計（Aerosol Photometer）與微粒產(chǎn)生器（Aerosol Generator）。氣膠光度計的顯示版有模擬與數(shù)字兩種，每年必須校正一次。微粒產(chǎn)生器有兩種，一種是普通的微粒產(chǎn)生器，只要求高壓空氣，另一種是加熱型微粒產(chǎn)生器，要高壓空氣和電源，微粒產(chǎn)生器不需要校正。

三、測試方式

濾網(wǎng)泄漏測試的步驟，大致上是施放微粒并檢查濃度、濾網(wǎng)與邊框掃描以發(fā)現(xiàn)泄漏、更換或修補、重測。其步驟說明如下 ：

在圖面上記錄濾網(wǎng)數(shù)量并編號。

確定空調(diào)系統(tǒng)正常運轉(zhuǎn)并可供測試，風速與風量必需調(diào)整平衡完畢。

使用氣膠產(chǎn)生器在上游施放挑戰(zhàn)微粒，將PAO打入濾網(wǎng)上游，微粒濃度是大約每公升空氣含有10到20微克的PAO。微粒愈多愈容易找出泄漏，但是超過50微克以后差別不大，少于10則很難使用。微粒濃度可用風量粗略計算，再用氣膠光度計確認。

上游微粒濃度確認后，就可以在濾網(wǎng)表面掃描，尋找泄漏，必要時濾網(wǎng)四周可用塑料簾覆蓋以確保測試之準確

在濾網(wǎng)表面掃描，掃描之路徑可由外而內(nèi)或沿長/短邊迂回檢測.